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镀膜机真空测漏仪是如何检测漏真空的呢

发表时间：2024-07-22 12:17:12 来源：网友投稿

不是检测真空的，是检测真空度的，一般看设备的等级，使用的方式不同，有电阻规管，电离规管等不同；更次的不是用这些检测的，是使用扩散硅，电容等压力传感器测量负压的。

一般高真空是使用电阻规管，电离规管。电阻规和电离规是两种不同原理的规管，由于原理的限制，电阻规测低真空比较好(大气压到5×10-4mbar)，而电离规测高真空比较好（0.01mbar~10-9mbar）。有好多的应用需要全量程的真空贵，所以真空规厂家就把规管做成复合规，一个真空规里面含有两个规管，然后根据真空度自由转换。

电离规：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。

电阻规：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。

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