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国内哪些大学有mems这个专业

发表时间：2024-08-01 15:40:23 来源：网友投稿

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室

南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的

西北工业大学微纳米系统实验室

厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心

清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室

上海交通大学微纳科学技术研究院

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