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光刻机有高中低技术吗

发表时间：2024-12-08 11:32:57 来源：网友投稿

光刻机确实有高中低技术之分。高端光刻机技术先进，如荷兰ASML的极紫外光(EUV)光刻机，能制造出分辨率极高的芯片。中端光刻机如深紫外(DUV)光刻机，应用广泛。低端光刻机如传统光刻机，分辨率较低。不同技术水平的光刻机适用于不同规模的芯片制造。高端光刻机主要应用于先进制程，如7纳米及以下；中端光刻机多用于10纳米至28纳米制程；低端光刻机则用于28纳米以上制程。

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