EDS、EDX和EDXRF有什么区别

发表时间：2024-07-08 16:48:09 来源：网友投稿

一、EDS是利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析，EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，这两者的结构完全不同。

EDS能量色散谱仪，按能量展谱，主要器件为Li-Si半导体探测器.主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。

EDX：EnergyDispersiveX-RayFluoresenceSpectrometer能量色散X射线光谱仪。

两者联系：都是一种测试仪器。

二、ED-XRF是EDX的一种，ED-XRF即能量色散型X射线荧光光谱仪。

X射线荧光光谱仪是基于偏振能量色散X荧光光谱仪（ED－XRF）的分析方法。X射线管或放射性同位素源中发出的X射线激发固体、液体、粉末样品中的原子。

扩展资料：

EDS英文全称：EnergyDispersiveSpectroscopy

原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

与WDS（波谱仪）相比，EDS（能谱仪）具有以下优缺点：

优点:

（1）能谱仪探测X射线的效率高。

（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

（3）结构简单，稳定性和重现性都很好。

（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。

缺点：

（1）分辨率低.

（2）能谱仪只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。

（3）能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。

参考资料：百度百科：EDS百度百科：EDX百度百科：XRF

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