cleanroom什么意思

发表时间：2024-07-21 08:10:44 来源：网友投稿

cleanroom的意思是洁净室。

净室（Cleanroom，无尘室或洁净室）是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。净室又称无尘室、洁净室或清净室，是指一个具有低污染水平的环境。

这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的，更在意的是净室中的灰尘。

净室的定义为：将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为净室。

净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。

净室空调的特性：

1、温湿度要求比一般空调高一般空调要求在18°C~26°C之间，相对湿度则在40%~65%之间；净室空调必须控制在22°C~24°C之间，相对湿度则在45%~55%。

2、恒温恒湿控制由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感，故在净室大部分区域必须控制在±1°C及±3%之内。

3、所需的外气较多由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持净室压力比外面的大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。

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