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rca是什么溶液

发表时间：2024-07-27 20:45:15 来源：网友投稿

RCA 是一项标准工艺，通常只在晶圆裸片和硅上有薄氧化层时使用。

典型的RCA清洗包括以下步骤：

SPM去除有机物，它主要是以硫酸的强氧化性来破坏有机物中的碳氢键，通常在130°左右以4：

1、的比例浸泡待测样品。有机物也经常在氧化/缓冲的环境中被去除，典型的溶液是氨水、过氧化氢和水按1：

1、5的体积比例混合的APM溶液，在70~80°的温度下，它们的化学反应能力强，不但能去掉模版及衬底上沾染的有机化合物，还能溶解掉一些元素周期表中IB和IIB族的金属元素，并降低表面的粗糙度。而盐酸、过氧化氢和水以一定的比例混合而成的HPM溶液，在75~80°的环境中，可以将石英或硅片上的重碱离子及阳离子去除。

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