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氮化硅有何用途

发表时间：2024-07-27 20:46:05 来源：网友投稿

氮化硅陶瓷具有高强度、高弹性模量、耐磨、耐氧化、耐腐蚀、抗热冲击等优良性能。除已成为金属切削工具的重要材料外，在许多领域得到应用并有许多潜在的用途。在陶瓷发动机中，用来制备定子、转子、涡形管等部件；氮化硅膜用作微电子技术电绝缘层；氮化硅晶须用于增强氧化铝、碳化硅及玻璃陶瓷基和铝基复合材料。在冶金、化学、机械、电子和军事工业上有广泛的应用。氮化硅陶瓷的烧成可采用硅粉预先成型，然后在通氮的情况下烧结而成(反应烧结法)，是使氮化硅的形成和烧结同时完成；或采用硅粉氮化反应合成氮化硅粉后热压而成 (烧结法)。氮化硅膜是由氯化硅-氨 -氢等体系在一定温度下用气相沉积法形成，或采用射频溅射法形成。

另外纳米氮化硅具有很高的化学稳定性，耐高温性能，良好的机械性能及优异的介电性能（高介电常数，高介电强度），在许多领域有着广泛的应用. 作为一种重要的陶瓷材料，目前对它的表面改性大多是采用烧结助剂包覆氮化硅粉粒，提高烧结助剂在氮化硅浆料中的分散程度及浆料的流动性，从而提高陶瓷制品烧结密度和性能稳定性。

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