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光刻机为什么不用X光

发表时间：2024-07-27 21:19:57 来源：网友投稿

光刻机之所以不用X光是因为效能非常差。

EUV光刻机波长在13.5nm, X射线在10nm以下，用X射线作为光刻机光源存在原理上可行，只是大规模商用仍然存在很大困难。如果一台成熟的DUV光刻机每小时能处理200片晶圆，一台新的X射线光刻机每小时能处理一片晶圆的0.1%，效果还很差。再就是光刻胶对X光不敏感，光刻机就没法“刻”了。

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