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什么是移相干涉测量

发表时间：2024-07-27 22:21:53 来源：网友投稿

移相干涉测量（Phase-shifting interferometry），是一种光学测量技术，通过对物体表面反射或透射的光进行干涉，利用干涉图案的变化来获取待测物体表面形貌等信息。移相干涉测量通常包括以下几个步骤：

1. 发射一束光源光线并照射到待测物体表面上。

2. 光线反射或透射后，与原始光线发生干涉，形成干涉图案。

3. 改变光线的相位差，通过任意数量的光学元件或器件来实现，例如：改变光源的波长、改变光路长度等。

4. 在每个相位差下，通过摄像机或其他光学传感器记录干涉图案。

5. 分析和处理所记录的干涉图案，通过计算得到待测物体表面的形貌、厚度、折射率等信息。移相干涉测量的优点是可以提供高精度的测量结果，并且对待测物体表面的粗糙度、反射率等影响较小，适用于测量精密光学元件、表面形貌、微小振动等。由于需要改变光线的相位差，所以需要使用一些特殊的光学元件或技术来实现相位的移动，例如：用波长调制技术、数字信号处理等。

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