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场发射扫描电子显微镜可达多大尺寸

发表时间：2024-07-27 23:54:27 来源：网友投稿

场发射环境扫描电子显微镜分辨率：二次电子像高真空模式：30KV时<

2.0nm 低真空模式：3KV时<

3.5nm ESEM环境真空模式：30KV时<

2.0nm 罗宾逊探头，背散射电子像放大倍数12X-1,000,000X 加速电压200V-30KV 样品室真空<

6×10-4－4000Pa 三种真空模式：高真空、低真空和ESEM环境模式 2、X射线能谱仪分辨率：

1、38eV 分析范围：B5－U92

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