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爱华真空镀膜机真空值怎么调

发表时间:2024-07-28 01:29:23 来源:网友投稿

一、爱华真空镀膜机真空值调法

电控柜的操作

1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源

2、开总电源

3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

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