螺杆式真空泵使用过程和注意事项

发表时间：2024-07-28 02:02:44 来源：网友投稿

螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放，以及运行成本低等一系列优点，在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。

目前各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽，以及能在恶劣工况下运行的需要，所以近几年来，干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。

干式螺杆真空泵的工作原理

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间，有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入，并排出到排气口。

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，后来又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆由一个整体材料加工制作而成。各种不同的螺杆见图1所示。

干式螺杆真空泵的特点如下：

由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%的能耗，排气温度较低；

被抽气体在泵腔内路程短，并迅速排出；

被抽气体在泵腔内很少受到搅动；

微小颗粒不容易堆积；

可以夹带液体、可凝物和微小颗粒；

低振动和低噪声；

泵腔内的剩余物容易被清除。

干式螺杆真空泵的使用注意事项

下表1是7种不同规格型号的变螺距螺杆真空泵的技术参数。

干式螺杆真空泵的使用注意事项如下：

1螺杆真空泵背压

螺杆真空泵通常的排气压力室大气压，在配用电机功率不变的情况下，最大允许背压到0.3bar。如果螺杆真空泵在高背压下运行，会造成抽速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。

2进气温度

螺杆真空泵进气温度15℃~60℃，在此温度范围内，泵可连续长期工作。进气温度超出此范围，需采取必要措施。

3冷却水温度

下面的表1给出的冷却水是在冷却水温度为20℃下的流量，冷却水最高的允许温度为32℃，但必须适当加大冷却水流量。

4处理液体和固体的能力

螺杆真空泵的被抽气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。

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