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详解一下电刻蚀工艺

发表时间:2024-07-28 02:28:06 来源:网友投稿

电刻蚀工艺是一种在微电子制造中常用的工艺,用于在半导体材料上刻蚀出所需的结构。

它通过将半导体材料暴露在特定的化学溶液中,利用电流来加速化学反应,从而实现材料的去除。电刻蚀工艺具有高精度、可控性好的优点,适用于制造微小尺寸的器件和结构。其原理是在施加外加电压的作用下,通过溶液中的离子与材料表面的化学反应,使材料被溶解或氧化,从而实现刻蚀效果。这种工艺在集成电路制造、显示器制造等领域得到广泛应用。

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