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分子泵原理

发表时间：2024-07-28 03:04:01 来源：网友投稿

分子泵是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的 。

早在 1913 年，就有人提出了分子泵的原理，即要被抽的分子粒子会通过与快速运动的转子表面发生碰撞，而得到一个沿所需流动方向的冲量。转子的表面通常为圆盘形，它与定子的静止表面形成一个空隙以用于将气体朝向前级端口输送。

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