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掺镓和掺硼的差别

发表时间:2024-07-28 03:04:21 来源:网友投稿

单晶硅掺硼和掺镓的区别:

掺硼主要因为硼的分凝系数为0.8,接近于1。在拉晶过程中分布均匀,电阻率容易控制,可做出绝大部分符合产品电阻率性能的单晶硅。

镓主要因为其对光衰无影响,成为目前单晶硅生产工艺得主要掺杂。可是由于其分凝系数极小,成品电阻率分布区间大,符合产品电阻率要求部分较少而制约其使用发展。

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