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psg工程原理

发表时间：2024-07-28 04:01:30 来源：网友投稿

PSG（PhosphoSilicateGlass）是磷硅玻璃的意思，在太阳能电池片的扩散工艺后，硅片表面会形成一层PSG，必须去除。

扩散原理：POCl3在高温600℃下分解，产生P2O5和PCl5,然后2P2O5+5Si——5SiO2+4P，这样生成的P就可以扩散到硅片里，实现P掺杂。

在扩散中我们还比通入足够的氧气，这样PCl5和氧气反应，生成P2O5和Cl2，从而避免产生的PCl5对硅片的不利影响。

通过反应可以发现，在实现P掺杂的同时在硅片表面还会有二氧化硅和五氧化二磷，所谓的PSG，通过氢氟酸溶液洗去。

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