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离子注入机可以替代光刻机吗

发表时间：2024-07-28 04:01:43 来源：网友投稿

不能离子注入机和光刻机都是晶圆制造过程中必不可少的设备，离子注入机高压小型加速器的一种它是由离子源得到所需的离子经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用作半导体材料，大规模集成电路和器件的离子注入还用于金属材料表面改性和制膜等，而光刻机是用于把电子掩膜版上的电路设计图，用光刻方法转印到硅片上，类似于照相机照相！

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