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同步辐射光源光刻机原理

发表时间:2024-07-28 06:19:47 来源:网友投稿

同步辐射光源(Synchronized Radiation Lighthouse)是一种特殊的激光器,其发射的光线具有极高的单色性、方向性和亮度。同步辐射光源常用于光刻机中,用于产生高能量密度的光束,以实现对微小物质的加工或测量。

同步辐射光源的工作原理是通过激发激光器中的电子来产生光线。通常情况下激光器中的电子通过一个叫做“激励器”的装置被激发出来,然后这些电子经过一系列的反射镜和透镜后聚焦到一个小点上形成一束高能量的光线。这个过程中由于电子与原子核之间的相互作用,导致能级发生跃迁,释放出特定波长的光线。

在实际应用中,同步辐射光源可提供比其他类型的激光器更高的光学功率密度和更纯净的光线。

另外由于其波长单一、方向性好的特点,它们也被广泛应用于精密测量、光谱分析等领域。

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