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聚焦离子束扫描电镜是什么

发表时间:2024-07-28 07:31:31 来源:网友投稿

聚焦离子束扫描电镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope,FIB-SEM)是一种高分辨率的显微镜技术,结合了离子束刻蚀和扫描电子显微镜。它能够提供高分辨率的表面形貌和化学成分信息。离子束可以刻蚀样品表面,同时扫描电子束可以获取高分辨率的图像。这种技术在材料科学、纳米技术和生物科学等领域具有广泛应用,可以用于样品制备、纳米加工、断层分析和三维重建等研究。

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