真空硅管测量原理
发表时间：2024-07-28 07:45:02
来源：网友投稿
真空硅管是一种基于热释电效应测量真空度的仪器。其原理是利用气体分子与热电子的碰撞产生热释电效应，通过测量热释电信号的大小来推算出真空度。
具体来说真空硅管由一个金属封装的管体和一个陶瓷支架组成。管体内部存在一个发热丝和一个热感应电阻器。当发热丝加热时，会使得管体内部的气体分子不断碰撞，释放大量的电子。这些电子会因为受到一个磁场的作用而向热感应电阻器流动，从而产生一个热释电信号。
由于气体分子在真空度较高时数量较少，所以热释电信号也会相应减小。通过测量热释电信号的大小，就可以推算出真空度的大小。一般来说真空度越高，热释电信号就会越小，所以真空度的大小可以通过测量热释电信号的下降速率来推算出。
需要注意的是，真空硅管只适用于测量低真空范围内的真空度，一般为10^-2 ~ 10^-7 Pa之间的范围。超过这个范围的高真空则需要采用其他测量方法。
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