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硅片的制备

发表时间：2024-07-28 10:30:09 来源：网友投稿

单晶硅的制备先是拉单晶，硅单晶棒有直拉法（CZ法）和区熔法两种

硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光，以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产

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