2、简述椭圆偏振法测量薄膜厚度的基本思想
发表时间：2024-07-28 15:45:29
来源：网友投稿
1. 椭圆偏振是一种非接触式的测量技术，利用线偏振光束经过被测物体后的振动状态变化来求得物体的光学性质，可以用于测量薄膜厚度。
2. 具体来说椭圆偏振测量法通过测量不同角度下入射光的偏振状态和出射光的偏振状态得到样品的材料折射率和厚度，从而求出薄膜的厚度。
3. 该方法的基本思想是：通过对入射光的偏振状态和出射光的偏振状态的测量，推算出样品的材料折射率和薄膜厚度，实现间接测量薄膜厚度的目的。
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