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mems的基本概念和基本构成

发表时间：2024-07-29 09:57:09 来源：网友投稿

微机电系统(MEMS)基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。MEMS技术的出现开辟了一个全新的领域和产业。它们具有许多传统传感器无法比拟的优点，所以在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控和军事等领域都有着十分广阔的应用前景。

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