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mu线是什么

发表时间：2024-07-29 12:29:20 来源：网友投稿

MU线是一种电子束曝光技术中的一种线状标记物。它是一种用于非接触式检测和校正电子束照射位置和相位的校准标记。在电子束曝光过程中，使用MU线可以帮助确定电子束的位置和精度。

它通常由金属或导电材料制成，并被置于待曝光物表面，通过测量电子束与MU线之间的距离和位置关系，可以进行精确的位置校准和调整。MU线被广泛应用于电子束曝光系统、集成电路制造和其他微纳加工领域。

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