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超纯水的标准是什么

发表时间：2024-07-29 12:36:45 来源：网友投稿

电阻率大等于18.2M欧姆.cm，TOC<1ppb，这是两个最重要的指标了，其他的阴阳离和金属基本上都属于小于5-20PPT的级别了。

超纯水又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。

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