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CVD在process过程中为什么氧气很低

发表时间:2024-07-29 14:27:01 来源:网友投稿

1. CVD在process过程中氧气很低。

2. 这是因为CVD(化学气相沉积)是一种利用化学反应在固体表面上沉积薄膜的技术。在CVD过程中,氧气的浓度需要控制在较低水平,以避免氧气与反应物发生不必要的反应。因为氧气具有较高的活性,可能会导致不良的副反应或者薄膜质量下降。

3. 另外CVD过程中氧气浓度的控制还可以影响薄膜的成分和性质。通过调节氧气浓度,可以实现对薄膜的掺杂、晶体结构和表面形貌等方面的调控。所以保持氧气浓度较低是CVD过程中的一个重要因素,以确保薄膜的质量和所需的性能。

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