单晶硅生长炉是什么
发表时间：2024-07-29 14:51:17
来源：网友投稿
单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
单晶硅生长炉工作原理
首先把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化。
然后对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长。
接着控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶。
随后放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角。
然后进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体。
最后待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。
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