光刻机的干刻与湿刻的优缺点
发表时间：2024-07-29 16:00:42
来源：网友投稿
优缺点如下：
湿法刻蚀⼯艺的优点是设备简单，刻蚀速率⾼，选择性⾼。缺点是湿刻蚀刻剂化学物质去除了掩膜材料下⽅的基板材料，还需要⼤量的蚀刻剂化学物质。
另外必须⼀致地替换蚀刻剂化学物质，以保持相同的初始蚀刻速率。结果与湿蚀刻有关的化学和处理成本⾮常⾼。⼲蚀刻的⼀些优点是其⾃动化能⼒和减少的材料消耗，⼲刻（例如，等离⼦蚀刻）的成本更低。缺点是干刻的光源波长精度不如湿刻，因为湿刻是利用纯水压缩了光源波长。
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