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boe清洗工艺是什么意思

发表时间：2024-07-30 02:57:54 来源：网友投稿

1. BOE清洗工艺是指用于处理半导体器件表面的一种特定工艺。

2. BOE清洗工艺的原因是为了去除半导体器件表面的杂质和污染物，以提高器件的性能和可靠性。BOE是Buffered Oxide Etchant的缩写，是一种酸性溶液，可以有效地去除硅表面上的氧化物。

3. BOE清洗工艺在半导体制造过程中非常重要，它可以清除表面的氧化物和有机物，提供一个干净的表面供后续工艺步骤使用。

另外BOE清洗工艺还可以改善器件的界面特性和电学性能，提高器件的性能和可靠性。

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