半导体act是什么
发表时间:2024-07-30 04:17:48
来源:网友投稿
专业术语
1Active Area 主动区(工作区)主动晶体管(ACTIVE TRANSISTOR)被制造的区域即所谓的主动区(ACTIVEAREA)。在标准之MOS制造过程中ACTIVE AREA是由一层氮化硅光罩即等接氮化硅蚀刻之后的局部场区氧化所形成的,而由于利用到局部场氧化之步骤,所以ACTIVE AREA会受到鸟嘴(BIRD’SBEAK)之影响而比原先之氮化硅光罩所定义的区域来的,
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