真空阀门排气原理
发表时间:2024-07-30 04:50:42
来源:网友投稿
真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。
排气原理:当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空,此时气流流经扩散泵。可见阀门在这种操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。
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