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油扩散泵的原理是怎样的呢

发表时间：2024-07-31 10:13:58 来源：网友投稿

首先解释下扩散泵的工作原理，扩散泵是依靠真空泵内部的油沸腾向上蒸发，向上蒸发的泵油通过泵芯的反射（泵芯一般为三层结构，类似倒扣的碗），改变运动方向，向下运动。

向下运动的同时会带走顶部的气体也跟着向下运动。当气体到达底部以后，由前级泵通过扩散泵底部的排气口抽走，持续循环就起到了抽真空的效果。

原理大致就这样由此我们可以知道，扩散泵主要是依靠油来进行抽真空的工作（当然还有其他因素）。油前期预热时没有达到沸腾的条件，所以是起不到抽真空的效果的，但是油内部会有气体残留（具体的残留原因很多，不多做解释），当油开始预热，分子开始活跃，残留气体就会溢出，真空度就会跟着反弹，就是我们说的升高。这种现象一般是因为前级泵的抽真空速度跟不上所导致的，但是一般影响不大。后期扩散泵正常工作以后真空度自然就会下降。如果对前期预热时的真空度有要求，建议增大前级泵的抽速，可以有很明显的改善。

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