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光刻机属于什么板块

发表时间:2024-07-31 13:39:00 来源:网友投稿

光刻机概念股属于半导体概念的一个细分。

光刻机(Mask Aligner),又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机(stepper)或扫描式光刻机(scanner),获得比模板更小的曝光图样。

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