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mems光刻机用途是什么

发表时间：2024-08-01 02:17:30 来源：网友投稿

MEMS光刻机是一种用于制造微机电系统（MEMS）的设备。

它主要用于将光通过掩模或模板传输到光敏材料上，形成所需的微米和亚微米级结构。这些结构可以用于制造各种传感器、机械臂、振动器、压力计、加速度计等微型设备。光刻技术可以制造出高精度、高速度和高灵敏度的微型器件，具有广泛的应用前景，如生物医学、能源、环境监测、通信、自动化控制等领域。MEMS光刻机在这些领域中扮演着至关重要的角色。

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