光刻工是什么
发表时间:2024-08-01 15:31:25
来源:网友投稿
光刻工是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。
是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
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