单晶炉生产工艺流程
发表时间:2024-08-16 15:42:25
来源:网友投稿
先将一定量的多晶硅原料放入坩埚中,加热至熔化,在拉杆下端装夹籽晶,沉浸到熔化的晶体原料中,将拉杆缓缓向上提拉,同时缓慢旋转,最终生长出圆柱体形状的单晶硅棒。
在单晶硅的生产过程中,温度的保持是一个重要问题,为了在保证生产温度的前提下降低能量损耗,炉体内壁一般采用附着保温层的形式,但是在炉体底部设置的废气孔中往往容易一些易燃气体或杂质,需要进行清除,现有的清除过程中往往对保温层的拆除量过大,延误工时的同时还容易造成保温层的损坏,具有较多的使用弊端。
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