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膜厚指的是什么

发表时间：2024-08-16 16:12:55 来源：网友投稿

膜厚全称（The film thickness detection system）为膜厚探测系统，是指用于测量薄膜的厚度。

现有的薄膜厚度测量技术中，光学厚度测量技术测量精度高，但是难以实现大厚度薄膜测量；非光学厚度测量技术可实现大厚度薄膜测量，但是测量误差大。

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