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什么是MO源

发表时间：2024-08-18 19:38:44 来源：网友投稿

MO源（metalorganic source）种类繁多，在研究和生产中使用过的MO源超过70多种， MO源概念已超出金属有机化合物的范围，现在MO源的含义应是：凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源，所以MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物（Precursor）”。

但是在化合物半导体材料研发和生产中，除Ⅴ、Ⅵ族元素的氢化物（如NH3、AsH3、H2Se等）外，MOCVD工艺使用的高纯基础材料主要是Ⅱ、Ⅲ族的金属有机化合物（如TMGa、DMCd等）和Ⅴ、Ⅵ族元素有机化合物（TBP、TBAs等），目前在MOCVD工艺中使用的Ⅴ、Ⅵ族材料仍是元素的氢化物为主。据我所知中国做的最好的应该是南大光电了。江苏南大光电材料股份有限公司（股票代码：300346），成立于2000年，坐落于苏州工业园区，是一家专业从事高纯电子材料研发、生产和销售的高新技术企业，主要产品有MO源、特种气体（砷烷、磷烷）、安全源（负离子注入源）等。南大光电是目前国内唯一MO源大规模产业化生产的企业，亦是全球四大MO源制造商之一。南大光电拥有完善的质量管理体系，公司已经通过ISO9001：2008质量管理体系认证、ISO14001:2004环境管理体系认证以及OHSAS18001：2007职业健康与安全管理体系认证。公司产品得到全球用户广泛认可，已经成功进入了中国大陆、台湾地区、韩国、美国、日本、欧洲等主要市场。

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