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三维纳米直写光刻机是干什么的

发表时间：2024-08-21 23:43:32 来源：网友投稿

三维纳米直写光刻机是一种用于制造微纳结构的高精度设备，是制造微型器件和系统的关键设备之一。

通过使用三维纳米直写光刻机，可以制造出更小、更复杂、更精密的微纳结构，为未来的科技发展提供有力支持。在芯片光掩模版制备方面，直写光刻机可用于0.25微米及以上节点的芯片光掩模版制备，以及0.18微米节点以下的部分光掩模制备。在显示面板行业，直写光刻机可以将光掩模图形扫描光刻到大尺寸基板上，形成 TFT电路图形。

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