cvd的主要的六种化学反应类型
发表时间：2024-08-22 13:31:10
来源：网友投稿
CVD（化学气相沉积）的主要六种化学反应类型包括：热分解反应、氧化还原反应、氢化反应、氮化反应、碳化反应和硅化反应。
热分解反应是通过高温将气体分子分解成原子或离子，形成沉积物。氧化还原反应是通过氧化或还原反应来形成沉积物。氢化反应是通过氢气与前驱体反应来形成沉积物。氮化反应是通过氮气与前驱体反应来形成沉积物。碳化反应是通过碳源与前驱体反应来形成沉积物。硅化反应是通过硅源与前驱体反应来形成沉积物。
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