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镀膜有哪些污染

发表时间：2024-08-22 14:15:01 来源：网友投稿

由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染;

蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;

镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。

综上所述设备的真空卫生涉及到真空设备、真空系统、真空工艺生产等各方面与环节,涉及到了真空镀膜设备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求,所以真空污染是一个值得被重视的问题,因为这些污染会影响设备性能,应注意定期或随时进行清洁工作.

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