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DLC镀层获取方式

发表时间:2024-08-23 20:26:34 来源:网友投稿

DLC镀层可以通过多种方式获得,其中最常用的方法是物理气相沉积(PVD)工艺。

PVD工艺将碳原子从气相沉积到基材表面,形成DLC涂层。常见的PVD方法包括磁控溅射、离子束辅助沉积等。另外化学气相沉积(CVD)工艺也可以用于制备DLC涂层。CVD工艺将含碳气体(如甲烷、乙烯等)与氢气或其他反应气体混合,在基材表面形成DLC涂层。

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