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RTP是什么意思

发表时间:2024-08-23 21:49:00 来源:网友投稿

RTP 快速热处理(rapid thermal processing),是一种升温速度非常快的,保温时间很短的热处理方式。

升温速率能达到10~100摄氏度每秒。一般采用红外卤素灯或者电阻棒加热,加热时电流很大,功率很大。实验室一般采用专门的RTP炉进行实验。是半导体制造中的一道工艺,可以用于离子注入后的杂质快速激活、快速热氧化等。

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