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离子注入机是做什么的

发表时间：2024-08-23 23:19:22 来源：网友投稿

离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。

由离子源质量分析器，加速器，四级透镜，扫描系统和靶室组成，可以根据实际需要省去次要部位。

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