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电子氟化液的主要成分

发表时间:2024-08-24 01:39:23 来源:网友投稿

氢氟醚(电子氟化液)

电子氟化液是无色透明全氟化学品,具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备

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