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pvd设备是什么

发表时间：2024-08-24 16:01:24 来源：网友投稿

PVD设备指的是:真空箱;设置在真空箱内部的导轨槽、转动驱动部、阴极,转动驱动部的传动轮用于驱动载板在真空箱内移动,导轨槽用于对载板的移动方向进行导向,且阴极位于真空箱内并朝向载板;靶基距调整机构,靶基距调整机构与导轨槽连接且能够调节传动轮和导轨槽的位置,以调整传动轮和导轨槽上设置的载板与阴极的距离。

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