半导体薄膜工艺的重要性
发表时间:2024-08-24 18:35:08
来源:网友投稿
由于半导体制造是在硅片上加工出各种微观结构,所以除了原始的硅基材料外还需要通过薄膜“加法”引入非硅材料(如非硅介质层、金属层)实现不同功能。
除添加新材料外,薄膜工艺还具有隔离保护高活性材料,防止污染和腐蚀。薄膜工艺也会承担一部分光阻的职能,常用于产生提高吸光率的减反射膜、硬掩模等。
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