sub光源是什么
发表时间：2024-10-07 10:11:08
来源：网友投稿
sub光源，全称为Substrate Light Source，是一种用于半导体设备中的光源。它的主要作用是激发半导体材料，从而产生电子和空穴对，进而促进光电效应。在半导体制造过程中，sub光源广泛应用于光刻、蚀刻等工艺环节。这种光源的特点是光源的尺寸小于半导体晶圆的尺寸，以确保光源能量均匀分布在整个晶圆上。sub光源的类型多样，包括激光、LED、汞灯等。其中激光光源因其高亮度、高方向性等优点，被广泛应用于半导体制造领域。sub光源是半导体制造过程中不可或缺的关键设备。
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