佳能光刻机多少纳米
发表时间:2024-10-15 17:07:09
来源:网友投稿
佳能的光刻机在技术发展过程中,其分辨率(即能够刻画的线条最小宽度)经历了不断升级。早期佳能的光刻机可以达到180纳米的分辨率,但后来随着技术的进步,佳能推出了一系列能达到更小纳米级别分辨率的光刻机。例如在2018年,佳能推出了采用极紫外光(EUV)技术的光刻机,其分辨率可达7纳米,这意味着光刻机可以刻画的线条宽度仅为7纳米。这种极紫外光技术是目前半导体制造领域最先进的制造技术之一,能够满足新一代芯片制造的需求。
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