光刻胶是什么材料
发表时间:2024-10-17 01:02:22
来源:网友投稿
光刻胶是一种特殊的感光材料,主要用于半导体制造过程中的光刻步骤。它主要由树脂、感光剂和溶剂等成分组成。光刻胶的感光剂在紫外线照射下会发生化学反应,导致其分子结构发生改变,从而形成不同的物理状态。在光刻过程中,通过光刻机将光罩在光刻胶上,曝光区域的光刻胶发生化学变化,而未曝光区域保持原有状态。之后通过显影和定影等步骤,将光刻胶中的未曝光部分去除,形成图案。光刻胶的选用对半导体制造工艺的质量和效率有重要影响。
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